Accesorios
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bomba mecánica, sensor de presión,medidores de tensión/corriente, fuentes de altovoltaje hasta 3000V +
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Aplicaciones
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Desarrollo para la implantación de iones ligerosen capas delgadas +
, micro y nano hilos. Materiales volumétricosen forma de pastillas. Cámara reactiva n diferentes atmósferas(Ar +
, N2 +
, O2 +
, He +
, Ar+H2) +
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Año
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2.018 +
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Denominación
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Cámara de implantación iónica a baja energía +
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Descripción
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Desarrollo propio +
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Institución
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IFLP +
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Palabras clave
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Oxidos +
, películas delgadas +
, micronanohilos +
, implantación iónica +
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Responsable equipamiento
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Odin Vazquez Robaina +
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Sectores de transferencia
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731100 +
, 731900 +
, 742200 +
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Titular del bien
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CONICET-UNLP +
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Ubicación
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Laboratorio 126 +
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Tiene consultaEsta propiedad es una propiedad especial en este wiki.
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IFLP/Cámara de implantación +
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Categorías |
Equipamiento +
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Fecha de modificaciónEsta propiedad es una propiedad especial en este wiki.
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19 julio 2019 14:56:05 +
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