| Accesorios
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2 bombas mecánicas,2 bombas turbomoleculares,aditamento para medir velocidades de deposición,chiller para refrigeración +
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| Aplicaciones
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Depósitos de películas metálicas +
, óxidos y otros sistemas. Cámara reactiva en diferentes atmósferas (Ar +
, N2 +
, O2) +
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| Año
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2.009 +
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| Denominación
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Cámara de ablación catódica. Sputtering. Deposición de material sobre diferentes superficies. +
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| Descripción
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Cámara de sputtering AJA (ATC Orion series 8 UHV). Realización de depósitos de películas de espesor variado de metales y óxidos sobre diferentes sustratos. +
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| Institución
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IFLP +
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| Palabras clave
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películas delgadas +
, superredes +
, nanofabricación +
, microfabricación +
, fabricación +
, óxidos +
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| Responsable equipamiento
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Claudia Rodríguez Torres +
, Laura Damonte +
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| Sectores de transferencia
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731100 +
, 731900 +
, 742200 +
, 803300 +
, 401190 +
, 742103 +
, 272090 +
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| Titular del bien
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CONICET - PME +
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| Ubicación
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Laboratorio 10 +
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| Tiene consultaEsta propiedad es una propiedad especial en este wiki.
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IFLP/Cámara de ablación catódica +
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| Categorías |
Equipamiento +
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| Fecha de modificaciónEsta propiedad es una propiedad especial en este wiki.
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18 julio 2019 17:13:19 +
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