IFLP/Cámara de implantación

De Censo General Equipamiento
Revisión a fecha de 11:56 19 jul 2019; IFLP (Discusión | contribuciones)

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Institución IFLP
Denominación Cámara de implantación iónica a baja energía
Tipo
Descripción Desarrollo propio
Accesorios bomba mecánica, sensor de presión,medidores de tensión/corriente, fuentes de altovoltaje hasta 3000V
Año 2018
Aplicaciones Desarrollo para la implantación de iones ligerosen capas delgadas, micro y nano hilos. Materiales volumétricosen forma de pastillas. Cámara reactiva n diferentes atmósferas(Ar, N2, O2, He, Ar+H2)
Sistema Nacional
Nro. STAN
Palabras clave Oxidos, películas delgadas, micronanohilos, implantación iónica
Ubicación Laboratorio 126
Sectores de transferencia CLANAE2010 731100, 731900, 742200
Responsable equipamiento Odin Vazquez Robaina
Titular del bien CONICET-UNLP
Nro de inventario

Detalle de los sectores de actividad a los que se puede transferir el servicio de este equipo:

CLANAE2010 Denominación Descripción
731100 Investigación y desarrollo experimental en el campo de la ingeniería y la tecnología
731900 Investigación y desarrollo experimental en el campo de las ciencias exactas y naturales n.c.p.
742200 Ensayos y análisis técnicos
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Accesoriosbomba mecánica, sensor de presión,medidores de tensión/corriente, fuentes de altovoltaje hasta 3000V +
AplicacionesDesarrollo para la implantación de iones ligerosen capas delgadas +, micro y nano hilos. Materiales volumétricosen forma de pastillas. Cámara reactiva n diferentes atmósferas(Ar +, N2 +, O2 +, He + y Ar+H2) +
Año2.018 +
DenominaciónCámara de implantación iónica a baja energía +
DescripciónDesarrollo propio +
InstituciónIFLP +
Palabras claveOxidos +, películas delgadas +, micronanohilos + y implantación iónica +
Responsable equipamientoOdin Vazquez Robaina +
Sectores de transferencia731100 +, 731900 + y 742200 +
Titular del bienCONICET-UNLP +
UbicaciónLaboratorio 126 +