Diferencia entre revisiones de «IFLP/Cámara de ablación catódica»
De Censo General Equipamiento
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|Accesorios=2 bombas mecánicas,2 bombas turbomoleculares,aditamento para medir velocidades de deposición,chiller para refrigeración | |Accesorios=2 bombas mecánicas,2 bombas turbomoleculares,aditamento para medir velocidades de deposición,chiller para refrigeración | ||
|Año=2009 | |Año=2009 | ||
− | |Aplicaciones=Cámara de ablación catódica (sputtering) para fabricación de películas delgadas desde espesores de algunos nanometros hasta los micrones. Posee cuatro blancos que se pueden usar simultánea o alternadamente lo cual permite el crecimiento de mezclas o superredes combinando más de un material. Posee un sistema de calefacción del sustrato que habilita a depositar a temperaturas entre ambiente y 800 °C. Se puede crecer en atmósfera inerte (Ar) o atmósferas reactivas (N2, O2). Se puede crecer de tanto películas metálicas cómo óxidos. | + | |Aplicaciones=Cámara de ablación catódica (sputtering) para fabricación de películas delgadas desde espesores de algunos nanometros hasta los micrones. Posee cuatro blancos que se pueden usar simultánea o alternadamente lo cual permite el crecimiento de mezclas o superredes combinando más de un material. Posee un sistema de calefacción del sustrato que habilita a depositar a temperaturas entre ambiente y 800 °C. Se puede crecer en atmósfera inerte (Ar) o atmósferas reactivas (N2, O2). Se puede crecer de tanto películas metálicas cómo óxidos. |
|Palabras clave=películas delgadas, superredes,nanofabricación,microfabricación,fabricación,óxidos | |Palabras clave=películas delgadas, superredes,nanofabricación,microfabricación,fabricación,óxidos | ||
|Ubicación=Laboratorio 10 | |Ubicación=Laboratorio 10 | ||
− | |Responsable equipamiento=Claudia Rodríguez Torres, | + | |Responsable equipamiento=Claudia Rodríguez Torres, Laura Damonte, |
|Titular del bien=CONICET - PME | |Titular del bien=CONICET - PME | ||
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Revisión de 11:36 17 jul 2019
Institución | IFLP |
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Denominación | Cámara de ablación catódica. Sputtering. Deposición de material sobre diferentes superficies. |
Tipo | |
Descripción | Cámara de sputtering AJA (ATC Orion series 8 UHV). Realización de depósitos de películas de espesor variado de metales y óxidos sobre diferentes sustratos. |
Accesorios | 2 bombas mecánicas,2 bombas turbomoleculares,aditamento para medir velocidades de deposición,chiller para refrigeración |
Año | 2009 |
Aplicaciones | La representación de la cadena "Cámara de ablac … s reactivas (N2" es demasiado grande., O2). Se puede crecer de tanto películas metálicas cómo óxidos. |
Sistema Nacional | |
Nro. STAN | |
Palabras clave | películas delgadas, superredes, nanofabricación, microfabricación, fabricación, óxidos |
Ubicación | Laboratorio 10 |
Sectores de transferencia CLANAE2010 | |
Responsable equipamiento | Claudia Rodríguez Torres, Laura Damonte |
Titular del bien | CONICET - PME |
Nro de inventario |
Detalle de los sectores de actividad a los que se puede transferir el servicio de este equipo:
CLANAE2010 | Denominación | Descripción |
---|---|---|
272090 | Producción de metales no ferrosos n.c.p. y sus semielaborados | |
401190 | Generación de energía n.c.p. | (Incluye la producción de energía eléctrica mediante fuentes de energía solar, biomasa, eólica, geotérmica, mareomotriz, etc.) |
731100 | Investigación y desarrollo experimental en el campo de la ingeniería y la tecnología | |
731900 | Investigación y desarrollo experimental en el campo de las ciencias exactas y naturales n.c.p. | |
742103 | Servicios relacionados con la electrónica y las comunicaciones | |
742200 | Ensayos y análisis técnicos | |
803300 | Formación de posgrado |
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Accesorios | 2 bombas mecánicas,2 bombas turbomoleculares,aditamento para medir velocidades de deposición,chiller para refrigeración + |
Aplicaciones | O2). Se puede crecer de tanto películas metálicas cómo óxidos. + |
Año | 2.009 + |
Denominación | Cámara de ablación catódica. Sputtering. Deposición de material sobre diferentes superficies. + |
Descripción | Cámara de sputtering AJA (ATC Orion series 8 UHV). Realización de depósitos de películas de espesor variado de metales y óxidos sobre diferentes sustratos. + |
Institución | IFLP + |
Palabras clave | películas delgadas +, superredes +, nanofabricación +, microfabricación +, fabricación + y óxidos + |
Responsable equipamiento | Claudia Rodríguez Torres + y Laura Damonte + |
Titular del bien | CONICET - PME + |
Ubicación | Laboratorio 10 + |