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Ar+H2) (1) ·
Depósitos de películas metálicas (1) ·
Desarrollo para la implantación de iones ligerosen capas delgadas (1) ·
He (1) ·
N2 (2) ·
O2 (1) ·
O2) (1) ·
Pesaje de presicion (1) ·
Secado de suspensiones (1) ·
micro y nano hilos. Materiales volumétr98545df0f8aabfa3a481fd93f2cb57d7 (1) ·
óxidos y otros sistemas. Cámara reactiva en diferentes atmósferas (Ar (1)
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Sectores de transferencia:
23.9 (1) ·
23.910 (1) ·
23.920 (1) ·
23.94 (1) ·
23.95 (1) ·
272090 (1) ·
401190 (1) ·
731100 (2) ·
731900 (2) ·
742103 (1) ·
742200 (2) ·
803300 (1) ·
B 8.8.1 (1)
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